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成都四洋科技有限公司
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ACM200电容薄膜真空计ACM200-13TBA

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详细说明

    ACM200 电容薄膜压力计，通常安装在真空腔体或管道上，读取实时压力，±15VDC的电源和0 - 10VDC信号输出的，广泛用于半导体工程和真空工业设备。





特点

直接测量方式测量压力

无关气体组分影响

可应用于腐蚀性气体环境，适合于各类制程应用

可搭配Atovac仪表，实时显示

测量范围从10E-4Torr至1000TOrr，覆盖大多数制程压力范围







规格

压力范围（满量程） 1、2、10、100、1000

*低压力 0.01%满量程

精度 ±0.25%读数

可选：±0.15%读数

温度效应

零点

跨度

0.002% 满量程/°C

0.02% 读数/°C

工作环境温度 0℃至50℃

暴露于气体中的材料 铬镍铁合金

泄漏率 1x10-8sec/sec He 

*大压力 310Kpa

电源要求 ±15VDC (±5%) @ 35 mA

输出信号 0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load

法兰 8 VCR, NW16K

 
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